一、基本概念方阻就是方塊電阻，又稱(chēng)面電阻，指一個(gè)正方形的薄膜導(dǎo)電材料邊到邊“之”間的電阻，如 圖一所示，即 B 邊到 C 邊的電阻值。方塊電阻有一個(gè)特性，即任意大小的正方形邊到邊的電 阻都是一樣的，不管邊長(zhǎng)是 1 米還是 0.1 米，它們的方阻都是一樣，這樣方阻僅與導(dǎo)電膜的 厚度等因素有關(guān)。方塊電阻的計(jì)算公式：Rs=ρ/t (其中 ρ 為塊材的電阻率,t 為塊材厚度） 二、利用方阻監(jiān)控?cái)U(kuò)散方塊電阻是一個(gè)二級(jí)概念，真正的核心是擴(kuò)散深度。一般擴(kuò)散深度會(huì)影響電性能參數(shù)，因?yàn)?擴(kuò)散深度無(wú)法測(cè)量，所以只能通過(guò)測(cè)電阻來(lái)大概反映擴(kuò)散深度和擴(kuò)散濃度。他是一個(gè)深度和濃度， 以及體材料多重作用的結(jié)果， 至于其和電性能參數(shù)各值之間的線性關(guān) 系，目前沒(méi)有什么特定方程式，都是通過(guò)經(jīng)驗(yàn)來(lái)控制在一定的方位，做到 30-50 的都有。方 阻一般只是在擴(kuò)散后進(jìn)行監(jiān)控， 監(jiān)控方阻就是為了監(jiān)控?cái)U(kuò)散的穩(wěn)定性。 測(cè)試方阻跟最后的燒 結(jié)工序的影響也是很重要的，因?yàn)榻Y(jié)的深度也會(huì)影響你最后燒結(jié)的深度，否則有可能出現(xiàn) Rs 的異常。所以方阻也是燒結(jié)條件的重要指標(biāo)。一般結(jié)深則電阻小，摻雜濃度高。 電阻小了，摻雜量就高了，表面死層就會(huì)多，這樣會(huì)犧 牲很多電流；電阻大了方塊電阻，電流的收集就會(huì)比較困難；方阻要做高，是需要其他相關(guān)條件保障 的方塊電阻，假如其他條件不滿足，效率反而會(huì)降低。一般擴(kuò)散溫度越高，時(shí)間越長(zhǎng)，流量越大，方 阻就越小，結(jié)就越深。除了擴(kuò)散之外，生產(chǎn)中的其它工序?qū)Ψ阶枰矔?huì)產(chǎn)生影響。一般如果是穩(wěn)定生產(chǎn)，方阻也是穩(wěn) 定的。后道生產(chǎn)中，假如出現(xiàn)大量問(wèn)題片，看癥狀跟方阻有可能相關(guān)的，就可以去反查工序中是否出現(xiàn)了問(wèn)題，即使電池也是可以測(cè)試的。但是這個(gè)只能相對(duì)參考，一般公司都會(huì)規(guī)定 方阻多少到多少之間的片子可以進(jìn)入流程，另外的就要返工，但是因?yàn)槭浅闄z，誰(shuí)又能保障 進(jìn)入流程的都是好的呢，甚至員工有可能會(huì)偷懶，好的片子壞的片子都流入流程。 三、方阻的測(cè)量 1、 銅棒測(cè)方阻 2、四探針?lè)y(cè)方阻

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