電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測(cè)轉(zhuǎn)物理量或機(jī)械量換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器。在采用電容技術(shù)的應(yīng)用中，電容式接近開關(guān)的靈敏度取決于目標(biāo)物體的材料特性。金屬、塑料或液態(tài)物體的材料特性將會(huì)影響感測(cè)范圍，從而影響電容式傳感器的輸出探測(cè)點(diǎn)。

一、電容式傳感器的工作原理

二、電容式傳感器的分類類型

根據(jù)傳感器的工作原理可把電容式傳感器分為變極距型、變面積型和變介質(zhì)型三種類型。

根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀，但一般很少用。其中差動(dòng)式一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器，它具有靈敏度高、線性范圍寬、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。

三、電容式傳感器的特點(diǎn)

1、優(yōu)點(diǎn)

（1）溫度穩(wěn)定性好。電容傳感器的電容值通常與電極材料無關(guān)電容式傳感器，這有利于選擇具有低溫系統(tǒng)的材料，并且由于它產(chǎn)生的熱量很少，因此對(duì)穩(wěn)定性的影響很小。電阻傳感器具有電阻并在通電后產(chǎn)生熱量：電感傳感器具有銅損，磁通量和渦流損耗等，由于熱量容易產(chǎn)生零漂移。

（2）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制造，易于確保高精度，并且可以做得很小以實(shí)現(xiàn)某些特殊測(cè)量：它們可以在高溫，強(qiáng)壯的車輛和船舶以及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境中工作，并能承受較大的溫度變化，承受高壓，高沖擊過載等。它可以測(cè)量超高溫和低壓差，還可以測(cè)量磁性功。

（3）動(dòng)態(tài)響應(yīng)良好。由于帶有電極的板之間的靜電引力很?。s105N），因此電容式傳感器需要的能量很小，并且由于其運(yùn)動(dòng)部分可以做得非常小和薄，即重量很輕，因此它的重量很輕。自然頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，并且可以在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。并且由于其低介電損耗，因此可以通過較高的頻率供電，因此系統(tǒng)具有較高的工作頻率。它可以用來測(cè)量高速變化的參數(shù)。

（4）可實(shí)現(xiàn)平均效果的非接觸式測(cè)量。例如，旋轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率的非接觸式測(cè)量，小球軸承的徑向游隙等。使用非接觸式測(cè)量時(shí)，電容式傳感器具有求平均值的作用，可以減小工作表面粗糙度的影響在測(cè)量上。除了上述優(yōu)點(diǎn)外，電容式傳感器在電極板之間還具有較小的靜電引力，因此輸入和輸入能量極小，因此它可以測(cè)量極低的壓力，以及較小的加速度，位移等，可以制成非常靈敏，高分辨率且對(duì)001m甚至更小的位移敏感的傳感器：由于其低的介電損耗（例如空氣），將差分結(jié)構(gòu)連接成橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘留非常小，因此允許電路進(jìn)行高倍放大，使儀器具有高靈敏度。

2、缺點(diǎn)

（1）高輸出阻抗，較差的負(fù)載能力·電容傳感器的容量受通用幾何尺寸的影響限制通常只有幾pF到幾百pF，這使得傳感器的輸出阻抗非常高，尤其是在使用音頻范圍的交流電源時(shí)，輸出阻抗高達(dá)1061082因此，傳感器的負(fù)載能力非常差，并且容易受到外部干擾的影響并產(chǎn)生不穩(wěn)定。在嚴(yán)重的情況下，它甚至無法工作。必須采取屏蔽措施，給設(shè)計(jì)和使用帶來極大的不便。大阻抗還要求傳感器絕緣部分的電阻值極高（超過幾十個(gè)MQ），否則絕緣部分將用作旁路電阻并影響儀器的性能（例如降低靈敏度）。因此，應(yīng)特別注意溫度，清潔度等周圍環(huán)境。不使用高頻電源會(huì)降低傳感器的輸出阻抗電容式傳感器，但是高頻放大和傳輸要比低頻復(fù)雜得多，而且寄生電容影響很大，不易保證工作的穩(wěn)定性。

（2）電容由于結(jié)構(gòu)和尺寸的限制，類型傳感器的電容很?。◣譸F到幾十pF），并且引線電容連接傳感器和電子電路（1-2m的導(dǎo)線可以達(dá)到800pF），其他電子電路的體積電容以及由傳感器內(nèi)板及其周圍導(dǎo)體形成的“寄生電容”相對(duì)較大，這不僅降低了傳感器的靈敏度，而且這些電容（電纜電容）經(jīng)常隨機(jī)變化，這將使儀器工作非常不穩(wěn)定。影響測(cè)量精度，因此對(duì)電纜的選擇，安裝和連接有要求。隨著材料，技術(shù)，電子技術(shù)特別是集成技術(shù)的發(fā)展，電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)不斷發(fā)揚(yáng)，而缺點(diǎn)卻不斷被克服。電容式傳感器正逐漸成為一種具有高靈敏度，高精度的傳感器，并有望在動(dòng)態(tài)，低壓和一些特殊測(cè)量領(lǐng)域得到發(fā)展。