2010年的過去標志著 “十一五”規(guī)劃期結束,也表示了自 2000 年 6 月發(fā)布的國發(fā) 18 號文件執(zhí)行了10 年之后宣告到期。2011 年 1 月 28 日國務院又發(fā)布了國發(fā) [2011]4 號文件,進一步鼓勵集成電路(IC)產業(yè)發(fā)展,一般被稱為“新 18 號文件”。在 18號文件政策的推動下,過去的 10 年間我國 IC 產業(yè)獲得了快速發(fā)展,其中包括 IC 芯片制造線的發(fā)展。本文僅對 “十一五”?劃結束時我國 IC 芯片制造線的狀況作一敘述和分析。
2010 年底我國 IC 芯片制造線數(shù)量
我國 IC 芯片制造線在 2000 年底共有 25 條(大于100mm 線 〈含 〉),到“十五”規(guī)劃結束 2005年底發(fā)展到 41 條;而到 “十一五”規(guī)劃結束 2010 年底發(fā)展到 61 條,其中:
300mm 線 6 條:北京中芯國際 2 條、上海中芯國際、無錫海力士、武漢新芯、大連英特爾。
200mm 線 14 條:天津中芯國際、上海中芯國際3 條、上海華虹 NEC 2 條、上海宏力、上海先進、上海臺積電、蘇州和艦、成都德州儀器(原為成芯)、重慶渝德、鄭州晶誠、無錫華潤上華二廠。
150mm 線 17 條:北京首鋼日電、北京燕東、上海先進、上海新進、上海貝嶺、無錫華潤上華一廠和五廠、杭州士蘭、寧波比亞迪(原為中緯)、福州福順2 條、廈門集順、廣州南科、深圳方正、西安西岳、吉林華微(VDMOS)、天津中環(huán)(VDMOS)。
125mm 線 9 條:上海先進、無錫 58 所、杭州士吉林麥吉科(吉林華微全資子公司)、香港興華。
100mm 線 15 條:上海貝嶺、北京宇翔、北京燕東、無錫 58 所、蚌埠 214 所、福州福順、莆田安特、天水天光、西安 771 所、重慶 24 所、沈陽 47 所、丹東安順、北京大學(MEMS)、清華大學(MEMS)、北京民芯(MEMS)。
在 “十一五”期間,增加的線如下:
300mm 線增加 4 條:上海中芯國際、無錫海力士、武漢新芯、大連英特爾。
200mm 線增加 5 條:上海華虹 NEC 二廠、成都德州儀器、重慶渝德、鄭州晶誠、無錫華潤上華二廠。
150mm 線增加 9 條:北京燕東、上海貝嶺、福州福順 2 條、廈門集順、深圳方正、西安西岳、吉林華微(VDMOS)、天津中環(huán)(VDMOS)。
125mm 線增加 1 條:增加揚州晶新、深圳深愛、香港興華,減去無錫華潤、清華大學。
100mm 線增加 1 條:增加蚌埠 214 所(重建)、莆田安特、清華大學(MEMS)、民芯(MEMS),減去中科院微電子所、無錫華潤、紹興華越。
其中,125mm 線減 2 條,100mm 線減 3 條,共減5 條。
在這 61 條線中,三分之二是中小尺寸(150、125、100mm)線,為 41 條;三分之一是大尺寸(300和 200mm)線,有20 條。
2000 年、2005 年和 2010 年全國 IC 芯片線數(shù)量對比如表 1 所示。
從表 1 看出,“十五”期間增加了 16 條,而 “十一五”期間增加了 20 條 。而且大尺寸線在總量中所占比例也在逐步上升:在 2000 年底 25 條線中才 1條,只占 4% ;到 2005 年底 41 條線中有 11 條,占到近 27%, 1/4 強;而到 2010 年底 61 條線中有 20 條,占到近33%,約為 1/3。
我國 IC 芯片制造線各地分布狀況
上述 61 條 IC 芯片制造線主要分布在長江三角洲地區(qū),其次是環(huán)渤海地區(qū)和閩粵港地區(qū),其他地區(qū)較少。具體分布如下:
1)長江三角洲地區(qū)
共有 28 條線。
(1)上海市
上海市是我國 IC 芯片線最集中、200mm 線最多的城市,它共有 14 條線,約占到全國 23%強,計有:
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